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半導體專用高精度氫氣傳感器簡介:在半導體晶圓退火、PECVD 薄膜沉積等工藝中,氫氣常作為保護氣或反應氣使用,微量泄漏(≥100ppm)可能引發爆炸風險,且需避免干擾工藝氣體配比。深國安自主研發的半導體專用SGA-700高精度氫氣傳感器,憑借 “免標定運維” 與 “多信號適配” 核心優勢,成為兼顧檢測精度與工藝效率的關鍵組件。
2025-10-28
21市政巡檢便攜式有限空間氣體檢測儀應用背景:在市政巡檢工作中,有限空間如下水道、污水井、電纜溝等場所較為常見。這些空間通常通風不良,可能存在多種有毒有害氣體,如一氧化碳、硫化氫、甲烷等,還可能存在氧氣含量不足的情況。便攜式有限空間氣體檢測儀能夠快速、準確地檢測出這些氣體濃度和氧氣含量,幫助巡檢人員及時發現潛在的危險,保障他們的生命安全,同時也有助于及時采取措施,避免事故的發生,保障市政設施的正常運行。
2025-10-28
21SGA-501船舶專用多合一氣體偵測器功能上實現 “多氣體全場景覆蓋”:支持可燃氣體(0-100% LEL)、有毒氣體(硫化氫 0-100ppm、一氧化碳 0-500ppm 等)、氧氣(0-25% VOL)同步檢測(實測精度3-5范圍內),可根據船舶類型(貨輪、油輪、客輪)定制檢測組分 —— 如油輪重點監測油氣與硫化氫,貨輪側重甲烷與一氧化碳;配備戶外LED大屏,支持陽光直射下清晰顯示,自帶聲光振動三重報警(90dB 聲光 + 500Hz 振動),確保嘈雜機艙內船員及時察覺。
2025-10-27
39半導體電鍍工藝專用抗溫濕度O2氧氣檢測儀應用背景:在半導體電鍍工藝(如銅電鍍、鎳電鍍)中,氧氣(O?)的存在是影響鍍層質量與工藝穩定性的關鍵隱患,電鍍槽內若混入氧氣,會導致金屬離子在晶圓表面氧化形成氧化物雜質,造成鍍層針孔、色差、附著力下降等缺陷,直接影響芯片電學性能
2025-10-27
43SGA-900二氯硅烷檢測儀系統是一款專門半導體鋼瓶柜所研發的氣體檢測設備,該產品集氣體采樣、氣體過濾、氣體干擾、流量控制、實時濃度顯示、無線數據上傳、環保聯網、本地聲光報警、設備聯動等功能為一體的標準化、模塊化、專業化二氯硅烷檢測儀系統集成設備。產品采用專業三防設計,直接戶外使用,系統經主動采樣、專業除水除塵干燥過濾后,再進入專業氣室內進行UV燈電離檢測,具體反應速度更快、抗干擾能力更強、測量更精準、壽命長久等特點;SGA-900二氯硅烷檢測儀系統無線HJ 212協議數據上傳,可無縫對接當地環保監測平臺;因其卓越性能和良好表現,不僅可以作為企業內的有組織或無組織的氣體排放使用,還可以為環保監測等部門提供數據決策支持。
2025-10-24
88半導體巡檢機器人專用H2氫氣報警儀采用進口傳感器技術,常規兼容催化燃燒,熱傳導,電化學等原理,檢測范圍覆蓋0-100% LEL、10000PPM、0-100%VOL,分辨率低至 0.1% LEL,檢測精度≤±3% F.S,可精準捕捉 0.5% LEL 的微量氫氣泄漏,T90 響應時間≤15秒,適配機器人快速移動巡檢場景,避免漏檢瞬時泄漏。機身采用高強度鋁合金材質,支持卡扣式安裝,可靈活固定于機器人機械臂或機身,不影響機器人運動靈活性;防護等級達 IP67,耐受半導體車間清潔噴淋與粉塵,適應機器人多場景巡檢環境。
2025-10-24
102半導體氣瓶柜專用501硅烷檢測儀采用進口傳感器,常規兼容電化學,催化燃燒,紅外,PID等原理,檢測范圍覆蓋0-10ppm、100PPM、1PPB、100%LEL、100%VOL等,分辨率低至 0.001ppm,檢測精度≤±3% F.S,可精準捕捉 0.05ppm 的微量硅烷泄漏,T90 響應時間≤15秒,遠超常規儀器,能在泄漏初期快速預警。針對氣瓶柜密閉高風險環境,其防爆等級達 Ex ia IIB T4 Ga(Zone 0 級),機身采用 316L 不銹鋼 + 特氟龍涂層,耐受硅烷輕微腐蝕,防護等級 IP67,可應對氣瓶柜周邊可能的水汽、粉塵影響。
2025-10-24
88金屬清洗工藝中,HCl 泄漏多為微量揮發(初期濃度常低于 0.5ppm),但需在達到腐蝕閾值前及時預警。半導體金屬清洗去除工藝專用SGA-500HCI鹽酸檢測儀采用進口電化學傳感技術 ,常規檢測范圍覆蓋0-5ppm(適配職業接觸限值與設備腐蝕閾值),最低分辨率達 0.001ppm,檢測誤差≤±0.5% F.S,可精準識別 0.1ppm 的微量 HCl 蒸汽;T90 響應時間≤8 秒,比國產電化學傳感器快 25%,能快速捕捉清洗槽密封蓋松動、管路接頭微漏等問題,避免 HCl 蒸汽長期累積導致設備腐蝕或晶圓缺陷。
2025-10-23
100濕法清洗工藝中,IPA 常與氫氟酸(HF)、鹽酸(HCl)、氨水(NH?)等腐蝕性試劑共存,儀器易受化學腐蝕損壞。半導體濕法清洗干燥工藝專用IPA異丙醇檢測儀機身采用316L不銹鋼 + PTFE 涂層復合結構,表面經鈍化處理,可耐受濃度≤5% 的氫氟酸、≤10% 的鹽酸短期接觸,無腐蝕變形;采樣管路選用耐化學腐蝕的全氟醚管,避免被 IPA 或其他試劑溶解、老化,確保氣路長期密封可靠,適配多化學試劑的惡劣環境。
2025-10-23
103CVD 工藝中氫氣泄漏多為微量(初期泄漏濃度常低于 1% VOL),但需在達到爆炸極限前及時預警。SGA-606便攜式H2氫氣檢測儀采用進口熱傳導傳感器 ,具備超高檢測精度:檢測范圍覆蓋 0-100% VOL,最低分辨率達 0.01% VOL,檢測誤差≤±1% F.S,可精準識別 0.1% VOL 的微量泄漏;T90 響應時間≤15秒,比常規電化學傳感器快 30%,能快速捕捉 CVD 設備管路接頭、反應腔室門密封處的突發泄漏,避免泄漏氣體擴散后形成安全隱患。
2025-10-23
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